研究成果概况

长期从事微机电系统（MEMS）研究工作，在惯性器件、声矢量传感器、微纳加工技术等方面取得了比较重要的研究成果。主持和参加了重点研发计划课题、自然科学基金、实验室基金等多项国家级、省部级研究项目。以第一作者和合作作者在国际著名学术期刊、国内核心学术期刊、国内外重要学术会议等上发表研究论文100 余篇，授权中国发明专利20项。