极紫外-真空紫外薄膜光学元件研究
ACTA OPTICA SINICA（2022）
摘要
极紫外-真空紫外高性能薄膜光学元件大幅提升了高精度观测能力,助力了天文、材料、物理等学科发展.同济大学精密光学工程技术研究所根据不同应用需求以及薄膜材料自身的物理化学特性,开展了针对高性能极紫外-真空紫外薄膜光学元件的广泛深入研究,成功研制了诸如Mg/SiC、Sc/Si、Yb/Al、Al+LiF+eMgF2、LaF3/MgF2等多种高性能薄膜反射镜,以满足极紫外-真空紫外(25～200 nm)全波段的应用需求,这些高性能薄膜反射镜已在诸多国内大型地面科学装置及空间天文观测设备中得到应用.简要介绍同济大学精密光学工程技术研究所在极紫外-真空紫外薄膜光学元件研制工作中取得的进展.
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关键词
X-ray optics, extreme ultraviolet and vacuum ultraviolet, thin film elements, narrow bandwidth, stability, high reflectivity
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