Al Islands on Si(111): Growth Temperature, Morphology, and Strain
Mikroèlektronika（2024）
关键词
aluminum,silicon,magnetron sputtering,epitaxy,morphology,microstructure,X-ray diffraction,SEM and TEM microscopy
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要